徠卡顯微鏡—近代干涉測試技術(shù)

徠卡顯微鏡干涉原理在測試技術(shù)上的應(yīng)用是大量的，其中有些已是我們所熟知的，本節(jié)介紹幾種近代光學(xué)測試領(lǐng)域里主要的雙光束干涉儀。闡明其光學(xué)系統(tǒng)原理及測試方法。

一、泰曼一格林干涉儀測試

泰曼一格林干涉儀實質(zhì)上是邁克爾遜干涉儀的一種變型，在近代的光學(xué)檢驗領(lǐng)域里，它是一種很重要的儀器，如圖1—16所示。它的獨(dú)持的物理性質(zhì)是：準(zhǔn)單色點光源和透鏡Ll提供射的平面波（平行光束），干涉儀的一臂裝有參考反射鏡肘i，另一臂則裝上被測試的光學(xué)元件透鏡Lz使得全部通過孔徑的光都能進(jìn)入位于12焦點處的觀察孔，所以能看到整個視場，即閉看到射I和肘z的任何一部分*干涉條紋可用目視觀察或用照相機(jī)（鏡頭應(yīng)位于Lz的焦點處）軀干涉條紋拍攝下來進(jìn)行分析。根據(jù)干涉條紋的變化，就可判斷被測光學(xué)元件的質(zhì)量。連續(xù)輸d的氛一氖氣體激光器是一個很好的光源。輸出功率為1mw的氦一氖氣體激光器，就足以在窒個干涉場上產(chǎn)生明亮而清晰的干涉條紋。激光器高度的時間相干性，使泰曼干涉儀進(jìn)行大光琶差的測試成為可能，它不僅能適應(yīng)各種靜態(tài)測試的要求，也能適應(yīng)大位移的動態(tài)測量。激光勞紋的高亮度，還能縮短對條紋照相的曝光時間，因而能減少不希望有的振動效應(yīng)。使用激光氫的泰曼一格林干涉儀是光學(xué)檢測中zui有效的工具之一。固1—16中所示的儀器是檢驗透鏡的丟曼一格林干涉儀，其中球面鏡肘：的曲率中心相被測透鏡的焦點重合。如果待測透鏡沒有便差，那么，返回到分束器的反射波將仍是平面的。然而，如果被測透鏡有球差、望差或像散引定波陣面的變形，那么就會清楚地看到具有畸變的一幅干涉條紋圖，并且可把干涉條紋拍攝下習(xí)進(jìn)行分析。若把6fz換成平面鏡，就可以檢驗許多別的光學(xué)元件．如梭鏡，光學(xué)平板等。在對這些條紋圖進(jìn)行解釋之后，光學(xué)檢驗人員就可據(jù)此指導(dǎo)進(jìn)一步的加工（修光圈）。在制造非常精密9光學(xué)系統(tǒng)，望運(yùn)鏡，高空照相機(jī)等的時候，還可采用電子學(xué)方法來掃描干涉固，zui后的數(shù)據(jù)用食算機(jī)分析。計算機(jī)控制的描圖儀自動畫出表面的等高線圖，或者畫出被測元件產(chǎn)生畸變波陣目的三維透視圖。整個加工過程都可用這些力法來保證得到高質(zhì)量的光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)。

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